ȼº ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¶óÀÎ Âø°ø
¹Ì¼¼°øÁ¤ À§ÇÑ EUV µµÀÔ µî
Ãʱâ ÅõÀڱݸ¸ 6Á¶5000¾ï¿ø
Á¡À¯À² 1À§ ´ë¸¸ TSMC Ãß°Ý ¹ßÆÇ
ÀÌ»çȸ, »õ »ç¿ÜÀÌ»ç 3¸í ¼±ÀÓ
ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀº ¸ð½À ¾Èº¸¿©
±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®ÀåÀÌ 23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ °³ÃÖµÈ 'ȼº EUV¶óÀÎ ±â°ø½Ä'¿¡¼ ±â³ä»ç¸¦ Çϰí ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¶óÀÎÀ» Âø°øÇß´Ù. Ãʱâ ÅõÀڱݸ¸ 60¾ï´Þ·¯(6Á¶5,000¾ï¿ø)´Ù.
Àü ¼¼°è ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) Åé2·Î µµ¾àÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÑ´Ù.
23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ´Â °æ±âµµ ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ ¡®È¼º ±ØÀڿܼ±(EUV) ¶óÀΡ¯ ±â°ø½ÄÀ» ¿°í ù »ðÀ» ¶¹´Ù. ±â°ø½Ä¿¡´Â ±ÇÄ¥½Â ´õºÒ¾î¹ÎÁÖ´ç ÀÇ¿ø(ȼºº´), Ȳ¼ºÅ ȼº½Ã ºÎ½ÃÀå, ±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ µð¹ÙÀ̽º¼Ö·ç¼Ç(DS)ºÎ¹®Àå(»çÀå), Á¤Àº½Â DSºÎ¹® ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎÀå(»çÀå) µîÀÌ Âü¼®Çß´Ù. Áö³ 13ÀÏ Ç׼ҽɿ¡¼ ÁýÇàÀ¯¿¹·Î Ç®·Á³ µÚ ÀÏü ´ë¿ÜȰµ¿À» ÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖ´Â ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÇ ¸ð½ÀÀº À̳¯µµ º¸ÀÌÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
À̹ø ½Å±Ô »ý»ê¶óÀο¡´Â EUV Àåºñ°¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î µµÀԵŠÁÖ¸ñ ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ºûÀÇ ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº EUV¸¦ Ȱ¿ëÇØ ¾ÆÁÖ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â Àåºñ·Î, ÃÖ±Ù ÇÑ ÀÚ¸´¼ö ³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬¤ý10¾ï ºÐÀÇ 1m) ´ÜÀ§±îÁö ¹Ì¼¼ÇØÁö°í ÀÖ´Â °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. EUV Àåºñ 1´ë´ç °¡°ÝÀÌ 1,500¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â ¡°Áö±Ý ¾²°í ÀÖ´Â ºÒȾƸ£°ï(ArF) ±¤¿ø Àåºñµµ Ãֽбâ¼úÀ̱ä ÇÏÁö¸¸ ÆÄÀåÀÌ ±æ¾î ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÇÑ°è ±Øº¹¿¡´Â ¿ªºÎÁ·Àε¥´Ù, °øÁ¤µµ º¹ÀâÇÏ°í ±æ´Ù¡±¸ç ¡°EUV ±â¼úÀÌ »ó¿ëÈµÇ¸é ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·ÂÈ¿À²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÀ» »Ó ¾Æ´Ï¶ó ȸ·Î¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ °øÁ¤¼öµµ ÁÙ¾î »ý»ê¼ºÀÌ È¹±âÀûÀ¸·Î ³ô¾ÆÁú °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º EUV¶óÀÎ Á¶°¨µµ. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø
ȼº EUV ¶óÀÎÀº 2019³â ÇϹݱ⠿ϰøµÈ´Ù. ½ÃÇè»ý»êÀ» °ÅÄ£ µÚ 2020³â º»°Ý °¡µ¿µÈ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â »õ ¶óÀÎÀ¸·Î ¸ð¹ÙÀÏ, ¼¹ö µî °í¼º´É ¹× ÀúÀü·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡ ºü¸£°Ô ´ëÀÀÇÑ´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù. 2020³â±îÁö 6Á¶5,000¾ï¿ø ÅõÀÔ ÈÄ ¶óÀÎ °¡µ¿ ÀÌÈÄ¿¡´Â ½ÃȲ¿¡ µû¶ó ¶óÀÎ Áõ¼³ µî¿¡ Ãß°¡ ÅõÀÚ°¡ À̾îÁø´Ù.
¹«¾ùº¸´Ù À̹ø ´ë±Ô¸ð ÅõÀÚ´Â EUV ¶óÀÎÀ» Ȱ¿ëÇÑ 7§¬ ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ±â¼ú·ÂÀ» ÁÖµµ, »ó´ëÀûÀ¸·Î ºÎÁøÇß´ø ÆÄ¿îµå¸® °æÀï·ÂÀ» ²ø¾î¿Ã¸®°Ú´Ù´Â ½Ãµµ´Ù. Àü ¼¼°è ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼ Á¡À¯À² 55.9%·Î µ¶ÁÖÇÏ´Â ´ë¸¸ TSMC Ãß°ÝÀüÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù´Â Àǹ̴Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â D·¥, ³½µåÇ÷¡½Ã µî ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼± µ¶º¸Àû 1À§¸¦ Áö۰í ÀÖÁö¸¸ ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼± 7.7%ÀÇ Á¡À¯À²(2017³â ±âÁØ)·Î ¼¼°è 4À§¿¡ ¸Ó¹«¸¥´Ù. ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¡°TSMC´Â EUV Àåºñ´Â 5§¬ °øÁ¤¿¡ ¾²°í 7§¬ °øÁ¤±îÁö´Â ºÒȾƸ£°ï Àåºñ·Î °¡°Ú´Ù°í Çß´Ù¡±¸ç ¡°¹ÝµµÃ¼´Â ½Ã°£ ½Î¿òÀ̶ó »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °øÁ¤ ±â°£ÀÌ ´õ ªÀº EUV Àåºñ¸¦ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î µµÀÔÇÑ´Ù´Â °á´ÜÀ» ³»¸° °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®ÀåÀº À̳¯ ±â³ä»ç¸¦ ÅëÇØ ¡°È¼º ½Å±Ô¶óÀÎ ±¸ÃàÀ¸·Î ȼºÄ·ÆÛ½º´Â ±âÈï°ú ȼº, ÆòÅÃÀ¸·Î À̾îÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍÀÇ Áß½ÉÀÌ µÉ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°»ï¼ºÀüÀÚ´Â »êÇп¬ ¹× °ü·Ã ¾÷°è¿ÍÀÇ ´Ù¾çÇÑ »ó»ý Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ±¹°¡ °æÁ¦¿¡ ±â¿©Çϰڴ١±°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí °°Àº ³¯ °æ±âµµ ¼ö¿ø »ï¼ºÀüÀÚ º»»ç¿¡¼´Â ½ÅÀÓ ÀÌ»ç ¼±ÀÓ ¾È°ÇÀ» °¡°áÇÏ´Â ÀÌ»çȸ°¡ ¿·È´Ù. »õ »ç¿ÜÀÌ»ç·Î ¹Ì±¹ º§¿¬±¸¼Ò ÃÖ¿¬¼Ò »çÀå Ãâ½ÅÀÌÀÚ ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡¼ ¼³¸³ÇÑ Åë½ÅÀåºñ¾÷ü À¯¸®½Ã½ºÅÛÁ 1Á¶1,000¾ï¿ø¿¡ ¸Å°¢ÇØ ¡®º¥Ã³ ½ÅÈ¡¯·Î ºÒ¸®´Â ¹Ì±¹ ±¹ÀûÀÇ ±èÁ¾ÈÆ Å°½ºÀ§¸ð¹ÙÀÏ È¸ÀåÀ» ºñ·ÔÇØ, ±è¼±¿í ÀÌÈ¿©´ë ±³¼ö(Àü ÀÌÈ¿©´ë ÃÑÀå), ¹Úº´±¹ ¼¿ï´ë ±³¼ö°¡ ÃßõµÆ´Ù. ³»´Þ ÀӱⰡ ³¡³ª´Â ±èÇÑÁß Àü ¿¬¼¼´ë ÃÑÀå°ú À̺´±â ¼¿ï´ë ±³¼ö ÈÄÀÓÀÌ´Ù. ¿Ü±¹ ±â¾÷ ¼öÀå°ú ¿©¼º »ç¿ÜÀÌ»ç·Î ±Û·Î¹ú Àü·«°ú ´Ù¾ç¼ºÀ» È®º¸ÇÏ·Á´Â ÃëÁö·Î º¸ÀδÙ. À̳¯ ÀÌ»çȸµµ ÀÌ ºÎȸÀå Âü¼® ¿©ºÎ¿¡µµ °ü½ÉÀÌ ½ò·ÈÁö¸¸ ºÒÂüÇß´Ù.
¸ÍÇÏ°æ ±âÀÚ hkm07@hankookilbo.com